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德国EVOCHEM蒸发材料EVOCHEM ETC-TOP
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1、 公司简介
EVOCHEM Advanced Materials GmbH是一家致力于提供薄膜应用材料的公司，其产品组合涵盖各种蒸发材料和配件、溅射靶材以及晶体监测等产品。该公司为薄膜应用提供较全面的材料系列，覆盖光学和配件、磨损和装饰涂层、微电子和半导体、光学数据存储、显示器和太阳能电池等多个领域。
在蒸发材料方面，EVOCHEM提供超过60种不同成分的材料，包括特殊混合物和物质，以及氟化物、氧化物、硫化物和金属，这些材料可以颗粒、片剂或圆盘形式提供。该公司拥有定制制造任何所需形状和纯度的生产能力，数量从几克到几百公斤不等。
2、 产品类型
EVOCHEM的蒸发材料产品线覆盖了多种化学成分和材料类型，以下是一些主要产品分类：
纯金属蒸发材料：涵盖从铝到锆的多种金属，提供广泛的纯度范围
氧化物蒸发材料：用于光学涂层和其他应用领域的氧化物材料
混合物蒸发材料：多种成分的混合蒸发材料
硼化物/碳化物蒸发材料：适用于特殊应用需求的硼化物和碳化物
氟化物蒸发材料：用于特定光学性能的氟化物材料
碲化物蒸发材料：满足特殊涂层需求的碲化物
氮化物蒸发材料：用于形成氮化物涂层的蒸发材料
硫化物/硒化物蒸发材料：包含硫化物和硒化物的蒸发材料
3、 主要型号
EVOCHEM的蒸发材料以多种形态提供，以下是其代表性产品系列：
蒸发材料颗粒
蒸发材料片剂
蒸发材料圆盘
蒸发材料棒材
蒸发材料线材
蒸发材料粉末
蒸发材料箔材
蒸发材料管材
蒸发材料靶材
4、 产品介绍
4.1、 纯金属蒸发材料
EVOCHEM提供多种纯金属和超纯金属产品，几乎包括从铝到锆的金属。这些金属的数量和形式范围很广，包括粉末、线材、箔、片材、棒材、管材和靶材。提供的纯度范围为99.00% - 99.999999%。
4.2、 疏水材料ETC-TOP
EVOCHEM ETC-TOP代表了ETC产品系列的入门级质量，具有高耐磨性和良好的易清洁性能。该材料可以提供大于105°的接触角，可以通过电阻加热船以及使用面漆内衬的电子束沉积。
技术参数：
蒸发温度范围为400 - 800°C（推荐600°C）
腔室压力：<4x10-5毫巴
涂层厚度：约10至20纳米
衬底温度：AR涂层CR39玻璃60℃
片剂的存储：6个月(未开封)在阴凉干燥条件下
4.3、 疏水材料ETC-PRO
EVOCHEM ETC-PRO是眼科行业的专用产品线，具有高耐磨性和易于清洁的表面特性。该材料通过气相沉积施加在SiO2层上，能提供117°的水接触角。在整个测试过程中，即使在1kg压力下循环8000次后，接触角也不会低于105°。
4.4、 疏水材料ETC-PRO UV+
EVOCHEM ETC-PRO UV+是具有更高耐气候要求的纳米涂层产品线。该材料显著提高了紫外线照射下的耐污性和耐化学性，同时保持高度光滑的表面。即使在600小时QUV和990小时氙弧灯测试条件下，PRO UV+涂层物质的接触角也能保持在>100°。
4.5、 工作原理
EVOCHEM疏水材料的工作原理是：材料的一端与其分子链的一端形成共价、高度稳定的氧化物表面（例如SiO2），而另一端（全氟化）则远离表面对齐。因此，具有易于清洁的特性。此外，涂层（例如AR层）和基材本身受到非常光滑和耐磨的纳米层的保护。
物理气相沉积工艺（PVD工艺）是EVOCHEM蒸发材料使用的一种沉积工艺，其中蒸发材料以原子的形式从固体源蒸发，并以蒸汽的形式通过真空或低压（或等离子体）环境传输到蒸汽聚集的基材。
5、 优势特点
EVOCHEM蒸发材料具有多个特点，使其在薄膜沉积过程中表现出较好的性能：
高纯度材料：EVOCHEM提供的纯金属和超纯金属产品，纯度范围从99.00%至99.999999%。高纯度有助于实现预期的涂层特性，减少杂质对薄膜性能的影响。
低喷溅特性：这一特点允许为关键应用提供低缺陷涂层，减少了后续处理工序，提高了产品的合格率。
优化的熔炼性能：材料经过优化设计，提高了生产过程中的产量，降低了单位生产成本。
形态多样性：EVOCHEM蒸发材料提供多种形态，包括粉末、线材、箔、片材、棒材、管材和靶材等。多样的形态使得这些材料能够适应不同的蒸发源和设备需求。
环境友好：EVOCHEM的新产品组合已经符合最新的立法要求，其中产品或整个生产过程中均不存在全氟辛烷磺酸（PFOS）和全氟辛酸（PFOA）。
6、 主要应用
EVOCHEM蒸发材料广泛应用于多个行业的薄膜制备过程，主要涵盖以下领域：
光学薄膜领域：用于制备光学干涉涂层、镜面涂层、防反射涂层（AR）和光束分离涂层等。这些涂层广泛应用于各类光学元件和系统。
微电子与半导体领域：用于沉积导电薄膜（包括TCO薄膜和ITO），这些薄膜是微电子器件和半导体装置的关键组成部分。
装饰与防护涂层：应用于装饰涂层、耐磨涂层和防腐蚀涂层，为产品提供美观外观和延长使用寿命。
显示与能源领域：用于显示器、光学数据存储和太阳能电池等应用的薄膜制备。
眼科行业：EVOCHEM的ETC-PRO产品线是眼科行业的专用产品，具有较高的耐磨性和易于清洁的表面特性。
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