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代理德国Thyracont冷阴极真空计VSM77赫尔纳供应
公司简介
Thyracont Vacuum Instruments GmbH（德国Thyracont真空仪器有限公司）是一家源于德国的真空测量设备制造企业。该公司始于1970年，致力于真空测量技术的开发和生产，其业务涵盖真空传感器、真空计、真空开关、控制器及相关真空组件的供应，并为真空泵和真空处理设备制造商提供产品。Thyracont的产品应用于流程工业、涂层、分析与研发以及半导体和太阳能等多个领域。
Thyracont主要产品类型
1. 真空计 (Vacuum Gauges)
2. 真空传感器 (Vacuum Sensors)
3. 真空开关 (Vacuum Switches)
4. 控制器 (Controllers)
5. 数字真空表 (Digital Vacuum Meters)
6. 真空变送器 (Vacuum Transducers)
7. 真空系统控制器 (Vacuum System Controllers)
8. 配件和真空组件 (Accessories and Vacuum Components)
Thyracont主要型号
1. VSM77 系列 (皮拉尼/冷阴极组合式真空变送器，含VSM77D, VSM77DL, VSM77E等型号)
2. VD8系列 (便携式数字真空计，如VD81, VD83, VD84, VD85)
3. VSH系列 (冷阴极真空计)
4. VD6 (单通道真空显示与控制单元)
5. VD12 (双通道真空显示与控制单元)
6. VRC (电子真空开关)
7. Smartline系列 (数字真空变送器)
8. VD800 (紧凑型真空计)
代理德国Thyracont冷阴极真空计VSM77产品介绍
VSM77是Thyracont公司生产的一款组合了皮拉尼（Pirani）和冷阴极（Cold Cathode）原理的智能数字真空变送器，用于从粗真空到超高真空（UHV）范围的绝对压力（Absolute Pressure） 测量，属于其Smartline产品线。
技术参数
特性 | 参数值 |
测量原理 | 皮拉尼（Pirani）/ 冷阴极（倒置磁控管式）组合传感器 |
测量范围 | 1000 – 5×10⁻⁹ mbar (1000 – 0.000000005 mbar) / 750 – 5×10⁻⁹ Torr |
精度 | 1000-10 mbar: <30% 读数、10-2×10⁻³ mbar: <10% 读数、2×10⁻³-1×10⁻⁸ mbar: <25% 读数 |
重复性 | 10-1×10⁻² mbar: ±2% 读数、1×10⁻²-1×10⁻⁸ mbar: ±7% 读数 |
响应时间 | < 200 ms |
输出信号 | 0-10 VDC (对数输出，测量范围1.82-8.6 V)；RS485串行接口；部分型号支持EtherCAT或Profinet |
供电电源 | 20 – 30 VDC |
真空接口 | DN 25 ISO-KF |
接触真空材料 | 不锈钢 1.4307, 钨, 镍, 玻璃, 钼, Al₂O₃陶瓷 |
过载保护 | 可达 10 bar (16 bar 可选 CERT31P) |
工作温度 | +5 °C 至 +60 °C |
防护等级 | IP40 (VSM77D/DL) 或 IP54 (VSM77E，带配套连接器) |
电气连接 | Sub-D 15针 (VSM77D/DL) 或 M12 连接器 (VSM77E) |
重量 | 约 555 g |
工作原理
VSM77采用了组合传感器技术，集成了皮拉尼（Pirani）传感器和冷阴极（Cold Cathode）传感器。皮拉尼传感器基于气体导热原理，适用于中低真空范围（通常从大气压至约10⁻³ mbar），其测量结果会受气体类型影响。冷阴极传感器（采用倒置磁控管设计）基于气体分子在强电场中发生电离产生离子流的原理，适用于高真空和超高真空范围（从10⁻³ mbar延伸至5×10⁻⁹ mbar），其测量结果同样受气体类型影响。内置的微处理器自动控制两个传感器之间的切换与数据融合，从而实现从大气压到超高真空的宽范围连续测量，并提供经过处理和补偿的信号输出。
优势特点
1. 极宽的测量范围与自动切换：结合皮拉尼和冷阴极两种原理，实现了从1000 mbar到5×10⁻⁹ mbar的极宽量程覆盖，并能自动在不同真空度区间切换传感器工作，减少了冷阴极在较高压力下的不必要的运行，有助于延长其使用寿命。
2. 结构设计与耐用性：采用金属密封的不锈钢测量元件，适用于高真空（UHV）和超高真空应用。具备较高的过压保护能力（可达10 bar，可选16 bar）。耐腐蚀的金属外壳提供了IP54或IP40的防护等级，适应工业环境。
3. 接口丰富与集成便捷：提供多种输出接口，包括模拟量（0-10V）、RS485数字接口，部分型号支持EtherCAT或Profinet现场总线，便于连接PLC和控制系统。提供两个独立的无电势继电器开关点，可用于过程控制或报警。
4. 维护与校准便利：传感器探头设计为可更换式，且更换探头时存储的校准数据可随之转移，简化了维护工作。支持通过按钮或软件界面进行零点和大气压的调整。
主要应用
VSM77真空变送器可应用于多个需要宽范围真空测量与控制的领域，尤其是涉及高真空和超高真空的工艺过程，例如：
1. 分析仪器：用于质谱仪、电子显微镜等精密分析仪器中真空度的监控。
2. 镀膜与气相沉积系统：用于物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）等镀膜工艺过程中真空度的监控与控制。
3. 真空炉与材料研究：用于高温真空炉、材料烧结或合成设备中的压力监控，确保高纯度无氧环境。
4. 过程工程：用于半导体制造、太阳能电池生产等流程工业中涉及高真空过程的设备。
5. 超高真空测量与控制：任何需要监测或控制从粗真空到超高真空范围的场合。
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