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代理德国Thyracont真空计套装

• 型   号：P_VD800_1 Set
• 价   格：5000

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Thyracont真空计套装 P_VD800_1 Set | VD800紧凑型真空计+VSC43USB变送器套装

真空镀膜、半导体工艺及实验室真空系统中，多测点压力监测依赖固定式变送器，现场巡检与故障排查时缺乏便携、高精度的真空测量手段，如何在粗真空至中真空范围内实现即插即测、数据记录与泄漏率定量分析？Thyracont真空计套装 P_VD800_1 Set 包含VD800便携式紧凑型真空计、VSC43USB压阻式陶瓷变送器、充电电源、硅胶保护套、便携箱及VacuGraph™软件许可，绝对压力测量范围2000 mbar至1 mbar，相对压力-1060 mbar至+1200 mbar，记录速率可调20 ms至60 s，支持USB-C有线及蓝牙LE无线数据传输。赫尔纳供应，德国总部直接采购代理德国Thyracont真空计套装，近30年进口工业品经验，原装产品，支持选型，提供一对一解决方案。

制造商背景：Thyracont Vacuum Instruments GmbH

Thyracont Vacuum Instruments GmbH于1970年在德国巴伐利亚州帕绍（Passau）创立，专注真空测量技术研发与制造。企业为真空泵及真空工艺设备OEM厂商供应创新测量设备，产品涵盖真空传感器、真空变送器、真空计、真空开关、控制器及真空组件。2025年，Thyracont通过ISO 9001:2015质量管理体系认证，使超过50年的高质量标准获得国际可量化的合规背书。全部产品坚持德国本土研发与制造，总部设于Passau，拥有独立研发中心及完整生产线。产品应用于半导体制造、制药生产、涂层技术、分析与研发、太阳能及流程工业等领域。Thyracont产品被维也纳科学技术博物馆量子实验室展陈，作为真空测量技术代表性展品。

产品类型

Thyracont真空测量技术产品涵盖以下类别：

数字紧凑型真空计（VD8 / VD800系列）：便携式电池供电真空计，集成数据记录器，USB接口传输，适用于现场服务与维护

数字真空变送器（Smartline系列）：VSR压阻/皮拉尼组合传感器、VSP皮拉尼传感器，输出RS485/0-10 V/EtherCAT/PROFINET，支持可更换传感器头

USB-C真空变送器（VSC系列）：压阻式陶瓷传感器，USB-C即插即用，2000至1 mbar绝对压力，-1060至+1200 mbar相对压力

模拟真空变送器（Analogline系列）：0-10 V标准模拟输出，可直接替换现有模拟真空计

电子真空开关（VRC / VRP系列）：压阻式陶瓷传感器，带继电器切换点，用于泵或阀门直接控制

超高真空传感器（VSH系列）：皮拉尼/热阴极Bayard-Alpert组合传感器，测量范围1000至5×10⁻¹⁰ mbar

真空显示控制器（VD6 / VD12 / PVC系列）：单通道/双通道/离子计控制器，支持多传感器接入与过程控制

真空计套装（Set系列）：P_VD800_1、P_VD801、P_VD810、P_VD850等预配置套装，含主机、传感器、配件及软件

代理德国Thyracont真空计套装主要型号

以下型号基于Thyracont产品目录及技术数据表确认：

P_VD800_1 Set — VD800 + VSC43USB + WUSB_CC002 + VD800N5 + VD800SH + VD800CASE + VGR软件许可

P_VD801 Set — VD800 + VSC43USB + 全套配件，测量范围2000至5×10⁻⁵ mbar（组合传感器）

P_VD810 Set — VD810 + 配件，内置压阻陶瓷传感器，绝对压力2000至1 mbar，相对压力-1060至+1200 mbar

P_VD850 Set — VD850 + 配件，内置压阻/皮拉尼组合传感器，1200至5×10⁻⁴ mbar

VD81 — 压阻式紧凑型真空计，1600至1 mbar，Mini-USB接口

VD83 — 皮拉尼式紧凑型真空计，100至5×10⁻⁴ mbar

VD84 — 外接皮拉尼传感器紧凑型真空计，100至1×10⁻³ mbar，螺旋电缆连接

VD85 — 压阻/皮拉尼组合紧凑型真空计，1200至5×10⁻⁴ mbar

VSR53D — Smartline数字真空变送器，压阻/皮拉尼组合，DN16 ISO-KF，RS485+0-10 V

VSP63D — Smartline皮拉尼真空变送器，1000至1×10⁻⁴ mbar，DN16 ISO-KF

产品概述

Thyracont真空计套装 P_VD800_1 Set 为预配置便携式真空测量解决方案，核心组件VD800紧凑型真空计通过USB-C接口连接外部VSC43USB有源变送器，实现绝对压力与相对压力的精确测量。套装内含充电电源、硅胶保护套、硬质便携箱及VacuGraph™软件单用户许可，开箱即可投入现场服务与维护作业。

核心技术参数：

表格

工作原理与结构特点：

VSC43USB变送器采用压阻式陶瓷测量元件，Al₂O₃陶瓷膜片在压力作用下产生形变，内置压阻电桥将机械形变转换为与压力成比例的电信号。陶瓷材质耐化学腐蚀，FKM密封适用于真空及弱腐蚀性气体环境。变送器通过USB-C数字接口将校准后的压力值传输至VD800主机，消除传统模拟传输中的线缆压降与噪声干扰。VD800主机配备图形LCD，可直接绘制压力-时间曲线，内置数据记录器以可调速率（20 ms–60 s）存储测量值并附带实时时钟时间戳。VacuGraph™软件支持数据读取、曲线可视化、泄漏率计算（升压速率法）及测量报告导出，满足审计与质量保证文档化需求。

优势特点

压阻陶瓷传感器，20 ms响应时间捕捉快速过程：VSC43USB采用Al₂O₃陶瓷压阻元件，响应时间20 ms，在真空镀膜腔体抽气过程中可实时记录压力下降曲线，识别泵组切换点及异常泄漏拐点。较传统皮拉尼传感器（响应时间约100–200 ms）对压力突变的捕捉能力提升约5–10倍

与气体类型无关，粗真空段读数不受工艺气体影响：压阻式测量原理基于机械形变，在2000 mbar至1 mbar范围内测量值与气体种类无关。在半导体刻蚀工艺中，腔体从大气压抽至粗真空阶段涉及N₂、Ar、CF₄等多种气体切换，VD800读数无需气体修正系数，避免皮拉尼传感器因气体热导率差异导致的±30%测量偏差

集成泄漏率计算，升压速率法精度±5%：VacuGraph™软件内置泄漏率计算工具，通过记录关闭真空泵后腔体压力上升速率，自动计算泄漏率（mbar·l/s）。在真空炉年检及镀膜机维护中，该功能替代传统氦质谱检漏仪的粗检步骤，单次检测时间由约30分钟缩短至5分钟，检测成本降低约80%

模块化传感器头，现场更换维护时间<2分钟：VD800采用模块化设计，脏污或磨损的USB变送器可由授权人员直接在现场更换，无需返厂校准。在半导体Fab多腔体设备维护中，单个变送器更换时间<2分钟，较传统固定式真空计拆卸-校准-重装流程（约2小时）停机时间缩短约98%

图形曲线直显+数据记录器，2000组数据离线存储：VD800图形LCD实时显示压力曲线，数据记录器可存储多组测量序列（每组最多2000点）。在真空泵性能验收测试中，可完整记录从大气压限真空的抽气曲线，离线后通过USB-C或蓝牙LE传输至PC进行泵组效率对比分析

主要应用

半导体设备现场服务与腔体维护：在刻蚀机、CVD沉积设备及离子注入机维护中，P_VD800_1 Set用于多点压力验证、腔体密封性检测及真空泵性能评估。压阻陶瓷传感器耐受氟化工艺气体，20 ms响应时间捕捉泵组切换瞬态压力，VacuGraph™软件生成标准化维护报告

真空镀膜机工艺调试与故障诊断：在光学镀膜、硬质涂层及卷绕镀膜设备中，VD800套装用于监测抽气过程、验证极限真空及定位泄漏点。图形曲线显示功能直观呈现镀膜前腔体压力达标情况，泄漏率计算功能量化密封衰减趋势，指导O型圈更换周期

制药冻干机及灭菌设备验证：在药品冻干工艺中，VD800用于监测预冻阶段腔体压力、判断冰升华终点及验证冷阱效率。压阻式测量不受水蒸气影响（皮拉尼传感器在水蒸气环境中读数漂移约±50%），数据记录器生成符合GMP要求的批次验证文档

实验室真空系统搭建与教学：在高校及科研院所真空物理、表面科学实验中，P_VD800_1 Set作为便携式标准真空计，用于校准固定式真空传感器、验证系统本底真空及监测反应过程压力。USB-C即插即用设计降低实验 setup 复杂度，蓝牙LE无线传输避免实验台线缆缠绕

真空泵出厂测试与售后性能评估：在旋片泵、罗茨泵及干式螺杆泵出厂测试中，VD800套装连接泵入口记录抽气曲线，通过VacuGraph™软件对比设计抽速曲线，判定泵组是否达到标称极限真空及抽速指标。便携箱设计支持售后工程师携带至客户现场进行泵组性能复测

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