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赫尔纳供应瑞士 INFICON 皮拉尼真空计

• 型   号：PSG50
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赫尔纳供应瑞士 INFICON 皮拉尼真空计 

赫尔纳供应瑞士 INFICON 皮拉尼真空计 

赫尔纳供应    德国总部直接采购，近 30 年进口工业品经验，原装产品，支持选型，为您提供一对一的解决方案：货期稳定，报价，价格优，在中国设有 8 大办事处提供相关售后服务

1. 公司介绍

瑞士 INFICON 专注真空测量仪器、检漏设备与气体分析仪器研发制造，生产体系执行 ISO9001、ISO14001 质量环境体系标准，产品满足 RoHS 规范。品牌面向半导体、镀膜、热处理等行业开发真空监测与控制硬件，覆盖从大气压到高真空区间的压力检测需求。瑞士 INFICON 皮拉尼真空计 PSG50 属于 PSG50x/PSG51x 系列数字皮拉尼仪表，瑞士 INFICON 皮拉尼真空计 PSG50 搭载数字皮拉尼传感技术，瑞士 INFICON 皮拉尼真空计 PSG50 适配前级真空管路监测，瑞士 INFICON 皮拉尼真空计 PSG50 支持一键式大气与高真空校准，瑞士 INFICON 皮拉尼真空计 PSG50 在半导体真空工艺设备中广泛配套使用。

2. 产品类型

- 皮拉尼真空计

- 电容薄膜真空计

- 热电离真空计

- 真空计控制器

- 真空检漏仪

- 残余气体分析仪

- 半导体工艺气体监测传感器

3. 主要型号

- PSG500

- PSG500-S

- PSG502-S

- PSG510-S

- PSG512-S

- CDG025D

- IE414

- VGD500

- PGE500

- IM540

4. 产品概述

瑞士 INFICON 皮拉尼真空计 PSG50 依靠皮拉尼热传导原理完成压力检测，覆盖大气压至中真空区间，用于真空系统压力采集、联锁控制。

核心参数：

- 测量范围：5×10⁻⁴ ~1000 mbar

- 氮气测量精度：1×10⁻³~100 mbar，读数 ±15%；5×10⁻⁴~1×10⁻³ mbar，读数 ±50%；100~1000 mbar，读数 ±50%

- 重复性（空气）：1×10⁻³~100 mbar，读数 2%

- 供电：直流 14~30V，功耗≤1W

- 工作温度：5~60℃

- 耐过压：10bar 绝对过压，螺纹接口

- 烘烤规格：最高 250℃烘烤版本可选

- 信号输出：对数信号输出

工作原理：传感器内部发热丝产生热量，气体分子带走热量，气体压力变化会改变热传导速率，电路采集温度变化信号转换为真空压力数值。不同版本可选用钨丝、镍丝，强腐蚀工况选用陶瓷馈通结构，仪表可在任意安装方向稳定工作。

5. 优势特点

- 支持一键 ATM 与 HV 校准，缩短现场仪表标定耗时，减少设备停机时长。

- 铝制外壳搭配不锈钢测量腔，可承受最高 10bar 绝对过压，避免意外压力冲击损坏传感器。

- 对数信号输出形式，便于接入 PLC 与真空控制器，降低系统集成工作量。

- 提供多材质灯丝与馈通选项，镍丝适配腐蚀工况，陶瓷馈通可用于极腐蚀性介质环境。

- 整机功耗≤1W，长时间连续运行，降低真空系统配套供电负荷。

6. 主要应用

- 半导体设备前级真空管线，实时监测粗真空与中真空压力，联动高真空电离计启停。

- 真空镀膜产线，监测腔体预抽阶段压力，作为工艺启动的联锁信号。

- 真空热处理炉，采集炉内粗真空压力，搭建安全保护回路，规避压力异常风险。

- 科研真空实验装置，用于精细真空与粗真空区间压力测量与闭环控制。

- 冷冻与制冷行业检漏配套真空系统，监测预抽真空压力状态。

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