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荷兰SPARKNANO原子层沉积系统Nano产品系列特点与用途
更新时间：2025-10-29 点击次数：79次
标题：荷兰SPARKNANO原子层沉积系统Nano产品系列
主要产品
SparkNano的主要产品包括空间原子层沉积系统，具体有：
SparkNano LabLine™
SparkNano Omega™
SparkNano Vellum™
荷兰SPARKNANO原子层沉积系统Nano产品系列产品介绍：
荷兰SPARKNANO原子层沉积系统Nano产品系列
产品介绍
SparkNano LabLine™是一种用于研究和开发的空间原子层沉积系统，支持多种基板类型和工艺过程。系统采用空间原子层沉积技术，通过将前驱体和共反应物在空间上分离，实现薄膜的逐层沉积。
技术参数包括：
基板类型：平面和多孔基板，如晶圆、玻璃、金属和聚合物箔
前驱体和共反应物：标准配置最多四个前驱体连接，共反应物包括H₂O，可选等离子体（如O₃、H₂、O₂）
样品面积：最大420 mm x 300 mm
沉积温度：热S-ALD为50°C–250°C，等离子体增强S-ALD为50°C–200°C
基板加载：手动，通过两个前室（一小一大）
系统尺寸：4.0米（宽）x 3.6米（深）x 2.1米（高）
荷兰SPARKNANO原子层沉积系统Nano产品系列优势特点
Ø 系统具有较高的沉积速度，适应快速研发需求。
Ø 可处理多种基板类型，包括平面和多孔材料。
Ø 系统配置灵活，支持多种前驱体和共反应物选项。
Ø 从实验室到生产的过渡较为顺畅，支持规模化扩展。
荷兰SPARKNANO原子层沉积系统Nano产品系列主要应用：
荷兰SPARKNANO原子层沉积系统Nano产品系列
太阳能电池
氢能技术
显示器件
电池制造
